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六甲基二矽氮烷（Hexamethyldisilazane, 簡稱 HMDS, CAS 999-97-3）是一種無色、具氨味的易燃液體，分子式為 [(CH₃)₃Si]₂NH。它主要用作半導體工業中的光阻增黏劑、醫藥合成的矽烷化試劑、以及處理矽藻土、白炭黑的表面處理劑。HMDS 對水敏感，遇水會分解生成三甲基矽醇和六甲基二矽醚。 
關鍵特性與用途

• 電子/半導體工業： 廣泛用於光刻（Photolithography）工藝，作為底漆（Primer）以增加光阻劑在矽晶圓表面的附著力。
• 化學合成： 在醫藥（如盤尼西林、頭孢黴素）和特種有機合成中，作為高效的矽烷化試劑，用於保護羥基、氨基等敏感官能基。
• 表面處理： 用於無機填料（如白炭黑、二氧化矽）的表面疏水化處理。 

• 分子量： 161.4 g/mol
• 外觀： 無色透明液體
• 沸點：125^oC
• 熔點： -78^oC
• 閃點： 57.2^oF (約 14^oC)，屬於易燃液體
• 溶解性： 可溶於有機溶劑，與水反應 

• 危害性： 具易燃性、刺激性（吸入、皮膚接觸）。遇水分解有毒氣體。
• 儲存條件： 應儲存在乾燥、陰涼、通風良好的庫房，遠離火種、熱源，並與氧化劑、酸類分開存放。
• 防護： 操作時需穿戴適當的防護具，避免吸入蒸氣。